Čistota riadenia mosadzných príslušenstiev v polovodičových špeciálnych plynových systémoch
Úvod do polovodičových systémov špeciálneho plynu
Výrobné procesy polovodičov vyžadujú ultra čisté, vysoko kontrolované prostredia.
Špeciálne systémy na dodávanie plynu zohrávajú rozhodujúcu úlohu pri leptaní, depozícii, dopingu a čistení.
Plyny ako silány, amoniak, chlorid vodíka a trifluorid dusíka vyžadujú vysokokvalitné transportné cesty.
Mosadzné armatúry, aj keď nie vždy prvá voľba, sa niekedy používajú v sekundárnych líniách alebo podporných systémoch.
Udržiavaniechemická čistota a štrukturálna integritamosadzných príslušenstiev je nevyhnutné, aby sa predišlo kontaminácii.
Dôležitosť čistoty materiálu v polovodičových aplikáciách
Semiconductory sú mimoriadne citlivé na nečistoty na molekulárnej úrovni.
Dokonca aj kontaminácia dielov-za miliardy (PPB) z potrubia alebo tvaroviek môže viesť k strate alebo zlyhaniu zariadenia.
Outgasing, korózia alebo povrchové reakcie v plynových vedeniach musia byť pevne regulované.
Vďaka tomu je výber materiálu a riadenie čistoty ústredným bodom pre návrh systému plynu.
Mosadz so správnou dokončením a kontrolou kvality môže spĺňať tieto normy v nekritických plynových vedeniach.
Zloženie a obavy z mosadzného materiálu
Štandardná mosadz je zliatinou medi a zinku, ktorá niekedy obsahuje olovo alebo plechovku.
Nečistoty ako síra, fosfor alebo zvyškové oleje môžu ohroziť hladinu čistoty.
V aplikáciách čistých alebo polovodičových aplikácií sa mosadze prísne vyhýba mosadze.
Ibanízko vedľajšie, dezincifikačné rezistentné (DZR)Mosadz by sa mal brať do úvahy pre takéto prostredie.
Výrobcovia musia poskytnúťcertifikátyPotvrdzovanie súladu s štandardmi Semi, ASTM alebo ROHS.
Požiadavky na povrchovú úpravu a elektropolovanie
Vnútorná povrchová úprava mosadzných tvaroviek výrazne ovplyvňuje čistotu plynu.
Hrubé alebo pórovité povrchy zachytávajú vlhkosť, uhľovodíky a častice, čo spôsobuje dlhodobú kontamináciu.
Aby sme tomu čelili, často sú kovaniaelektropolovanýNa dosiahnutie hladkého, pasivovaného vnútorného povrchu.
Drsnosť cieľového povrchu (RA) je zvyčajne menšia ako0.2 µmPre vedenia distribúcie plynu.
Po vylúčení, armatúry prechádzajú čistením vrozpúšťadláNasleduje vysušenie vákua a čistenie dusíka.
Ovládanie častíc a obaly na čisté miestnosti
Mosadzné armatúry pre polovodičové plynové systémy musia spĺňať prísneŠpecifikácie počtu častíc.
Akékoľvek voľné častice alebo kovové vločky môžu byť katastrofálne pre doštičky citlivé na plyn.
Na riešenie tohtoultrazvukové čisteniePoužívanie DI Voda a štandardy čistých miestností triedy 100.
Po vyčistení sú armatúrydvojitý valcamiV balení na úrovni čistých miestností, aby ste zabránili rekontaminácii.
Štítky často zahŕňajú sledovateľnosť pozície, informácie o čistení dávky a ukazovatele kontroly vlhkosti.
Pasivácia a povlaky pre chemickú stabilitu
Pretože mosadz je reaktívnejšia ako nehrdzavejúca oceľ, povrchová pasivácia je rozhodujúca.
Metódy pasivácie zahŕňajú kontrolovanú oxidáciu, nátery bez chrómovania alebovýtvarné pokovovanie.
Nikel alebo bez elektrolách niklových povlakov slúžia ako bariérová vrstva, aby sa zabránilo vylúhovaniu alebo oxidácii zinku.
Tento povlak tiež zvyšuje chemickú kompatibilitu s plynmi, ako sú HF alebo CLF₃.
Pravidelné kontroly hrúbky povlaku a testovanie adhézie zabezpečujú trvanlivosť v tlakových systémoch.
Inšpekcia, certifikácia a sledovateľnosť
Musia prejsť mosadzné armatúry s vysokou čistotouviacúrovňová kontrolaPred integráciou do plynových potrubí.
Testovanie zahŕňa:
Testovanie úniku hélia (zvyčajne<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Analýza zvyškových plynov (RGA)
Testy na uvoľňovanie mikrobalancií
XRF alebo ICP-MS na overenie materiálu
Každé vybavenie by malo byť úplnesledovateľné podľa čísla šarže, s pridruženýmosvedčenia o zhode (COC).
Niektoré zariadenia vyžadujú audity tretích strán alebo certifikačná dokumentácia ISO 14644.
Hranice a alternatívy aplikácií
Zatiaľ čo mosadz môže spĺňať kritériá čistoty, jej použitie jeobmedzené na nekritické cestyV polovodičoch Fabs.
Pre ultra vysoké plynové vedenia čistoty (UHP),316L z nehrdzavejúcej ocele s videorekordérom alebo orbitálnymi zvarmije preferovaný.
Mosadzné armatúry môžu byť aplikované vo výfukových systémoch, čistiacich čiarach aleboSpracovať systémy chladiacej vody.
Keď je mosadz správne vybraná a primerane liečená, poskytuje nákladovo efektívne a stabilné riešenie.
Budúci pokrok v technológii poťahovania a čistenia môže rozšíriť svoju užitočnosť v polovodičových aplikáciách.
Záver
Kontrola čistoty v mosadzných kovaniach pre polovodičové systémy špeciálnych plynov je zložité a nevyhnutné.
Od výberu materiálu po povrchovú úpravu a balenie, každý krok ovplyvňuje kvalitu plynu.
Zatiaľ čo mosadz nie je ideálna pre aplikácie s vysokou čistotou, pokročilé ošetrenie a kontrola kvality môžu byť životaschopné vo vybraných zónach.
Prostredníctvom prísnej kontroly, pasivácie a certifikácie môžu tieto príslušenstvo bezpečne podporovať prostredie výroby čipov novej generácie.
Kontaktujte Ifan
Telefón:+86 15088288323
E -mail:sales24-ifan@ifangroup.com
